ОКС. Общероссийский классификатор стандартов
- 01. ОБЩИЕ ПОЛОЖЕНИЯ. ТЕРМИНОЛОГИЯ. СТАНДАРТИЗАЦИЯ. ДОКУМЕНТАЦИЯ
- 03. УСЛУГИ. ОРГАНИЗАЦИЯ ФИРМ, УПРАВЛЕНИЕ И КАЧЕСТВО. АДМИНИСТРАЦИЯ. ТРАНСПОРТ. СОЦИОЛОГИЯ.
- 07. МАТЕМАТИКА. ЕСТЕСТВЕННЫЕ НАУКИ
- 11. ЗДРАВООХРАНЕНИЕ
- 13. ОХРАНА ОКРУЖАЮЩЕЙ СРЕДЫ, ЗАЩИТА ЧЕЛОВЕКА ОТ ВОЗДЕЙСТВИЯ ОКРУЖАЮЩЕЙ СРЕДЫ. БЕЗОПАСНОСТЬ
- 17. МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ
- 19. ИСПЫТАНИЯ *Эта область включает стандарты только общего назначения *Аналитическая химия см. 71.040
- 21. МЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ И УСТРОЙСТВА ОБЩЕГО НАЗНАЧЕНИЯ
- 23. ГИДРАВЛИЧЕСКИЕ И ПНЕВМАТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ И КОМПОНЕНТЫ ОБЩЕГО НАЗНАЧЕНИЯ *Измерение потока жидкости см. 17.120
- 25. МАШИНОСТРОЕНИЕ *Эта область включает стандарты общего назначения
- 27. ЭНЕРГЕТИКА И ТЕПЛОТЕХНИКА
- 29. ЭЛЕКТРОТЕХНИКА
- 31. ЭЛЕКТРОНИКА
- 33. ТЕЛЕКОММУНИКАЦИИ.АУДИО-И ВИДЕОТЕХНИКА
- 35. ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ. МАШИНЫ КОНТОРСКИЕ
- 37. ТЕХНОЛОГИЯ ПОЛУЧЕНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЙ
- 39. ТОЧНАЯ МЕХАНИКА. ЮВЕЛИРНОЕ ДЕЛО
- 43. ДОРОЖНО-ТРАНСПОРТНАЯ ТЕХНИКА
- 45. ЖЕЛЕЗНОДОРОЖНАЯ ТЕХНИКА
- 47. СУДОСТРОЕНИЕ И МОРСКИЕ СООРУЖЕНИЯ
- 49. АВИАЦИОННАЯ И КОСМИЧЕСКАЯ ТЕХНИКА
- 53. ПОДЪЕМНО-ТРАНСПОРТНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
- 55. УПАКОВКА И РАЗМЕЩЕНИЕ ГРУЗОВ
- 59. ТЕКСТИЛЬНОЕ И КОЖЕВЕННОЕ ПРОИЗВОДСТВО
- 61. ШВЕЙНАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
- 65. СЕЛЬСКОЕ ХОЗЯЙСТВО
- 67. ПРОИЗВОДСТВО ПИЩЕВЫХ ПРОДУКТОВ
- 71. ХИМИЧЕСКАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
- 73. ГОРНОЕ ДЕЛО И ПОЛЕЗНЫЕ ИСКОПАЕМЫЕ
- 75. ДОБЫЧА И ПЕРЕРАБОТКА НЕФТИ, ГАЗА И СМЕЖНЫЕ ПРОИЗВОДСТВА
- 77. МЕТАЛЛУРГИЯ
- 79. ТЕХНОЛОГИЯ ПЕРЕРАБОТКА ДРЕВЕСИНЫ
- 81. СТЕКОЛЬНАЯ И КЕРАМИЧЕСКАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
- 83. РЕЗИНОВАЯ, РЕЗИНОТЕХНИЧЕСКАЯ, АСБЕСТО-ТЕХНИЧЕКАЯ И ПЛАСТМАССОВАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
- 85. ЦЕЛЛЮЛОЗНО-БУМАЖНАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
- 87. ЛАКОКРАСОЧНАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
- 91. СТРОИТЕЛЬНЫЕ МАТЕРИАЛЫ И СТРОИТЕЛЬСТВО
- 93. ГРАЖДАНСКОЕ СТРОИТЕЛЬСТВО
- 95. ВОЕННАЯ ТЕХНИКА
- 97. БЫТОВАЯ ТЕХНИКА И ТОРГОВОЕ ОБОРУДОВАНИЕ. ОТДЫХ. СПОРТ
База ГОСТов РФ
Общероссийский классификатор стандартов → ГИДРАВЛИЧЕСКИЕ И ПНЕВМАТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ И КОМПОНЕНТЫ ОБЩЕГО НАЗНАЧЕНИЯ *Измерение потока жидкости см. 17.120 → Вакуумная технология *Включая вакуумные насосы
23.160. Вакуумная технология *Включая вакуумные насосы
- Оборудование вакуумное. Фланцы неподвижные винтовые. Основные и присоединительные размеры
Vacuum equipment. Fixed screw flanges. Basic and allied dimensions
Настоящий стандарт распространяется на неподвижные винтовые фланцы, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие в диапазоне давлений от 10 в ст 5 до 10 в ст. минус 5 Па, и устанавливает основные и присоединительные размеры неподвижных винтовых фланцев с условными проходами от 10 до 1000 мм ряда R5 по ГОСТ 8032 - Оборудование вакуумное. Фланцы неподвижные винтовые. Основные и присоединительные размеры
Vacuum equipment. Fixed screw flanges. Basic and allied dimensions
Настоящий стандарт распространяется на неподвижные винтовые фланцы, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие в диапазоне давлений от 10 в ст 5 до 10 в ст. минус 5 Па, и устанавливает основные и присоединительные размеры неподвижных винтовых фланцев с условными проходами от 10 до 1000 мм ряда R5 по ГОСТ 8032 - Оборудование вакуумное. Фланцы поворотные винтовые. Основные и присоединительные размеры
Vacuum equipment. Turning screw flanges. Basic and allied dimensions
Настоящий стандарт распространяется на поворные винтовые фланцы, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, и устанавливает основные и присоединительные размеры опорных и накидных фланцев, распорных и центрирующих колец для условных проходов от 10 до 630 мм ряда R5 - Оборудование вакуумное. Фланцы поворотные винтовые. Основные и присоединительные размеры
Vacuum equipment. Turning screw flanges. Basic and allied dimensions
Настоящий стандарт распространяется на поворные винтовые фланцы, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, и устанавливает основные и присоединительные размеры опорных и накидных фланцев, распорных и центрирующих колец для условных проходов от 10 до 630 мм ряда R5 - Оборудование вакуумное. Фланцы поворотные винтовые. Основные и присоединительные размеры
Vacuum equipment. Turning screw flanges. Basic and allied dimensions
Настоящий стандарт распространяется на поворные винтовые фланцы, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, и устанавливает основные и присоединительные размеры опорных и накидных фланцев, распорных и центрирующих колец для условных проходов от 10 до 630 мм ряда R5 - Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования
Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements
Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники - Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования
Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements
Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники - Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования
Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements
Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники - Оборудование вакуумное. Клапаны прямые и угловые вакуумные. Установочные размеры
Vacuum equipment. Direct and angle vacuum valves. Mounting dimensions
Настоящий стандарт распространяется на прямые и угловые клапаны с фланцевыми соединениями, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие в диапазоне давлений от 10 в ст. 5 до 10 в ст. минус 5 Па, и устанавливает присоединительные и установочные размеры для клапанов с условными проходами от 10 до 400 мм ряда R5 - Оборудование вакуумное. Клапаны прямые и угловые вакуумные. Установочные размеры
Vacuum equipment. Direct and angle vacuum valves. Mounting dimensions
Настоящий стандарт распространяется на прямые и угловые клапаны с фланцевыми соединениями, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие в диапазоне давлений от 10 в ст. 5 до 10 в ст. минус 5 Па, и устанавливает присоединительные и установочные размеры для клапанов с условными проходами от 10 до 400 мм ряда R5