База кодов ТН ВЕД → РАЗДЕЛ XVI. Машины, оборудование и механизмы; электротехническое оборудование; их части; звукозаписывающая и звуковоспроизводящая аппаратура, аппаратура для записи и воспроизведения телевизионного изображения и звука, их части и принадлежности → Реакторы ядерные, котлы, оборудование и механические устройства; их части → Машины и аппаратура, используемые исключительно или в основном для производства полупроводниковых булей или пластин, полупроводниковых приборов, электронных интегральных схем или плоских дисплейных панелей; машины и аппаратура, поименованные в примечании 9В к данной группе; части и принадлежности: → - машины и аппаратура для производства полупроводниковых приборов или электронных интегральных схем: → - - прочие:
848620900 - - - прочие:
- 8486209001 - - - работающие с использованием процессов светового или фотонного излучения, кроме лазерного, используемые в производстве полупроводниковых приборов
- 8486209002 - - - для сухого травления рисунка на полупроводниковых материалах
- 8486209003 - - - установки для удаления фоторезиста или очистки полупроводниковых пластин
- 8486209004 - - - машины гибочные, кромкогибочные, правильные (включая прессы), используемые в производстве полупроводниковых приборов
- 8486209005 - - - аппаратура для проецирования или нанесения рисунка маски на сенсибилизированные полупроводниковые материалы
- 8486209009 - - - прочие